Теоретическое исследование нестационарных процессов прямого радиационного травления полимерных резистов: (05.27.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / Физ.-технол. ин-т АН СССР
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Пантелеев, Е. Г. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||