Исследование быстродействия и точности высоковакуумного следящего гидропривода с целью повышения производительности автоматизированных установок электронной литографии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.02.12) / Моск. высш. техн. уч-ще им. Н. Э. Баумана
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Панкратов, И. В. |
| Wydane: | Л. , 1984 |
| Opis fizyczny: |
15 с.
|
| Język: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||