|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr17243270000 |
| 005 |
20070423142756.0 |
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [79-7212а]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070423d1979 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a UA
|
| 200 |
1 |
# |
$a Математическое моделирование тепловых процессов, возникающих в технологии интегральных микросхем при электроннолучевой микрообработке полупроводников
$e (05.12.18)
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
|
| 210 |
# |
# |
$a Киев
$d 1979
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
$c граф.
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: АН УССР, Ин-т кибернетики. Список работ авт.: с. 23 (7 назв.)
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.12.18
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Опаец
$b М. Г.
$g Михаил Георгиевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070423
$g psbo
|
