Математическое моделирование тепловых процессов, возникающих в технологии интегральных микросхем при электроннолучевой микрообработке полупроводников: (05.12.18): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Опаец, М. Г. |
| Опубликовано: | Киев , 1979 |
| Физические характеристики: |
23 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||