Влияние атомного водорода на свойства структуры Si-SiO₂: (05.27.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / Рос. акад. наук, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Носенко, С. В. |
| Опубликовано: | пос. Черноголовка (Моск. обл.) , 1992 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||