ДМЭ исследование совершенства структуры поверхности при осаждении тонких слоев из низкоэнергетических ионных пучков: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.04) / АН УзССР, Ин-т электроники им. У. А. Арифова
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ниматов, С. Ж. |
| Опубликовано: | Ташкент , 1991 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||