Моделирование процессов получения и контроля микроизображений в микроэлектронике: Автореф. дис. на соиск учен. степ. д-ра физ-мат. наук: (05.27.01) / НИИ физ. пробл. им. Ф. В. Лукина
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Никитин, А. В. |
| 出版: | М. , 1992 |
| 實物描述: |
37 с.
|
| 語言: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||