Исследование и разработка технологического процесса диффузии примесей из стекловидных пленок, осажденных из растворов, для устройств комплексной миниатюризации: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.13) / Ленингр. ин-т точной механики и оптики

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ288769СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Митникова, И. М.
Опубликовано: Л. , 1976
Физические характеристики: 23 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr15880420000
005 20070410153838.0
100 # # $a 20070410d1976 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Исследование и разработка технологического процесса диффузии примесей из стекловидных пленок, осажденных из растворов, для устройств комплексной миниатюризации  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук  $e (05.12.13)  $f Ленингр. ин-т точной механики и оптики 
210 # # $a Л.  $d 1976 
215 # # $a 23 с. 
300 # # $a Список работ авт.: с. 21-23 (21 назв.). Для служебного полъзования 
686 # # $a 05.12.13  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Митникова  $b И. М.  $g Инна Михайловна 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070410  $g psbo