Исследование и разработка технологического процесса диффузии примесей из стекловидных пленок, осажденных из растворов, для устройств комплексной миниатюризации: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.13) / Ленингр. ин-т точной механики и оптики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Митникова, И. М. |
| Опубликовано: | Л. , 1976 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||