Низковольтные режимы обработки тонких пленок резиста электронным лучом в вакууме: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.10)
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Марголин, В. И. |
| Publié: | Л. , 1984 |
| Description matérielle: |
16 с.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||