
Исследование элионных процессов и разработка оборудования для создания топологии микросхем: (05.12.19): Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Леннигр электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Zapisane w:
Format: | |
---|---|
1. autor: | Мамаев, Г. И. |
Wydane: | Л. , 1978 |
Opis fizyczny: |
18 с.
|
Język: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|