Влияние светового облучения газового пространства и поверхности подложки в процессе эпитаксиального выращивания
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Максимовский, С. Н. |
| Опубликовано: | М. , 1978 |
| Физические характеристики: |
13 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Физика полупроводников
Препринт № 258 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||