Газохроматографический контроль арсина и фосфина для эпитаксиальных процессов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (02.00.02) / Гос. н.-и. и проект. ин-т редкометал. пром-сти
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Майоров, В. И. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
18 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||