|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr13980140000 |
| 005 |
20161115110233.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 10 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [86-61827]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070313d1986 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a UA
|
| 200 |
1 |
# |
$a Растровая электронная микроскопия дефектов в кремнии
$f В. Ф. Латышенко, В. И. Шаховцов, Э. Г. Шейхет
|
| 210 |
# |
# |
$a Киев
$d 1986
|
| 215 |
# |
# |
$a 26 с.
|
| 225 |
2 |
# |
$a Препр.
$f АН УССР, Ин-т физики
$v № 7
|
| 300 |
# |
# |
$a Авт. на обл. не указаны. - Библиогр.: с. 22-26 (30 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 200 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Кремний
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Дефекты
|
| 675 |
# |
# |
$a 537.533.35
|
| 700 |
# |
1 |
$a Латышенко
$b В. Ф.
$g Владимир Федорович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070313
$g psbo
|
