Растровая электронная микроскопия дефектов в кремнии / В. Ф. Латышенко, В. И. Шаховцов, Э. Г. Шейхет
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Латышенко, В. Ф. |
| Опубликовано: | Киев , 1986 |
| Физические характеристики: |
26 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр.
№ 7 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||