Исследование роста и травления германия в иодидном процессе: (046): Автореф. дис. на соискание учен. степени канд. техн. наук / Моск. ин-т электронной техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Курбатов, Б. С. |
| Опубликовано: | М. , 1971 |
| Физические характеристики: |
13 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||