Разработка и исследование технических средств систем автоматического управления температурой подложек при производстве ИМС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.07) / Моск. гос. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кононов, В. Ю. |
| Опубликовано: | М. , 1993 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr12619860000 | ||
| 005 | 20220202135627.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070220d1993 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Разработка и исследование технических средств систем автоматического управления температурой подложек при производстве ИМС $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.13.07) $f Моск. гос. ин-т электрон. техники |
| 210 | # | # | $a М. $d 1993 |
| 215 | # | # | $a 27 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 26-27 (12 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.13.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Кононов $b В. Ю. $g Владислав Юрьевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070220 $g psbo |