Разработка и исследование технических средств систем автоматического управления температурой подложек при производстве ИМС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.13.07) / Моск. гос. ин-т электрон. техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кононов, В. Ю. |
| Опубликовано: | М. , 1993 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||