|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr12445840000 |
| 005 |
20140723101040.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 10 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [84-77483]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070216d1983 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физические основы и технология термического окисления кремния
$e [Учеб. пособие]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭМ
$d 1983
|
| 215 |
# |
# |
$a 60 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т электрон. машиностроения, Каф. оборуд. и технологии полупроводникового пр-ва
|
| 345 |
# |
# |
$9 500 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Кремний - Окисление термическое
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводниковые пленки - Качество
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592-416.002(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Колобов
$b Н. А.
$g Николай Афанасьевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Чернов
$b А. А.
$g Аркадий Алексеевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070216
$g psbo
|
