Физические основы и технология термического окисления кремния: [Учеб. пособие]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Колобов, Н. А. |
| Опубликовано: | М. : МИЭМ , 1983 |
| Физические характеристики: |
60 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||