|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr11584640000 |
| 005 |
20190129105144.0 |
| 010 |
# |
# |
$a 5-256-00139-6
$d 40 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [88-53738]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070130d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Обработка монокристаллов в микроэлектронике
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c Радио и связь
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 103 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Массовая б-ка инженера «Электрон»
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 96-102 (148 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 7000 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Монокристаллы - Обработка
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002
|
| 700 |
# |
1 |
$a Карбань
$b В. И.
$g Валерий Иванович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Борзаков
$b Ю. И.
$g Юрий Иванович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070130
$g psbo
|
