
Обработка монокристаллов в микроэлектронике
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Карбань, В. И. |
Опубликовано: | М. : Радио и связь , 1988 |
Физические характеристики: |
103 с. : ил. ; 21 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Массовая б-ка инженера «Электрон»
|
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|