Окисление кремния в присутствии паров соляной кислоты: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (35.27.06) / Моск. ин-т электрон. пром-сти
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Канорушкин, И. П. |
| Опубликовано: | М. , 1985 |
| Физические характеристики: |
25 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||