|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr10909390000 |
| 005 |
20070104163219.0 |
| 021 |
# |
# |
$b [89-16571а]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070104d1989 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Воздействие вакуумного ультрафиолетового излучения на поверхность неорганических и органических веществ, применяемых в микроэлектронике
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук
$e (01.04.10 ; 05.27.01)
$f АН СССР, Физ.-технол. ин-т
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1989
|
| 215 |
# |
# |
$a 20 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 18-20 (13 назв.)
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.10
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Иванова
$b М. И.
$g Милка Илиева
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070104
$g psbo
|
