Воздействие вакуумного ультрафиолетового излучения на поверхность неорганических и органических веществ, применяемых в микроэлектронике: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10 ; 05.27.01) / АН СССР, Физ.-технол. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Иванова, М. И. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||