Исследование процесса получения нитрида алюминия в низкотемпературной плазме ВЧ-разряда: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.16.06)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Зяткевич, Д. П. |
| Опубликовано: | Киев , 1979 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr10783670000 | ||
| 005 | 20061229154328.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20061229d1979 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Исследование процесса получения нитрида алюминия в низкотемпературной плазме ВЧ-разряда $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.16.06) |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1979 |
| 215 | # | # | $a 21 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: АН УССР. Ин-т пробл. материаловедения. Библиогр.: с. 20-21 (14 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.16.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Зяткевич $b Д. П. $g Дмитрий Павлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20061229 $g psbo |