Исследование процесса получения нитрида алюминия в низкотемпературной плазме ВЧ-разряда: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.16.06)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Зяткевич, Д. П. |
| Опубликовано: | Киев , 1979 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||