Физико-механистические свойства кремниевых наноструктур, как технологического материала микросистемной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Залкинд Яков Григорьевич
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Залкинд, Я. Г. |
| Publié: | М. , [2005 ?] |
| Description matérielle: |
26 с.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||