Физико-механистические свойства кремниевых наноструктур, как технологического материала микросистемной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Залкинд Яков Григорьевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Залкинд, Я. Г. |
| Published: | М. , [2005 ?] |
| Physical Description: |
26 с.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||