Формирование и электрические свойства планарных элементов на основе металлических и углеродных пленок наноразмерных толщин: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.01 / Булатов Андрей Николаевич
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Булатов, А. Н. |
Опубликовано: | Москва , 2005 |
Физические характеристики: |
22 с.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|