|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br774653 |
| 005 |
20070615183735.9 |
| 100 |
# |
# |
$a 20051121d2005 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e 01.04.08 ; 01.04.04
$f Суханов Яков Николаевич
$g [Физико-технологический иниститут РАН]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$d 2005
|
| 215 |
# |
# |
$a 19 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиография: с. 17-19 (15 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20764
$a НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar61933
$a ПЛАЗМЕННЫЕ РЕАКТОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23671
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar61934
$a ПЛАЗМЕННЫЯ РЭАКТАРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23672
$a ПЛАЗМАХІМІЧНЫЯ ПРАЦЭСЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar20765
$a НІЗКАТЭМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.07
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.49
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.08
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.04
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-662527
$a Суханов
$b Я. Н.
$g Яков Николаевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20051121
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060901
$g psbo
|
