Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: 01.04.08 ; 01.04.04 / Суханов Яков Николаевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Суханов, Я. Н. |
| Опубликовано: | Москва , 2005 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||