Разработка плазмохимической технологии получения катализаторов и ассимиляция гидрида алюминия при синтезе полупроводниковых пленок и порошков: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 02.00.04 / Шерматов Нурмахмад
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Шерматов, Н. |
| Опубликовано: | Душанбе , 2004 |
| Физические характеристики: |
41 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||