Структурные эффекты плазмохимической обработки тонких полиамидных пленок и покрытий в технологии устройств микросистемной техники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.02.01 / Жукова Светлана Александровна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Жукова, С. А. |
| Опубликовано: | Москва , 2004 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||