Таблицы параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей: (теория, метод расчета, таблицы) / [А. Ф. Буренков и др.]

Сохранено в:
Шифр документа: Ба169571, АУ596927, БА169268, М121524,
Вид документа: Книги
Опубликовано: Минск : Издательство БГУ , 1980
Физические характеристики: 347, [3] с. : ил., табл. ; 17 см
Язык: Русский
Предмет:
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ПРОСТРАНСТВЕННЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
ПРИМЕСИ
ЧИСЛЕННЫЕ МЕТОДЫ
ДЛИНА СВОБОДНОГО ПРОБЕГА
ПРОБЕГ ЧАСТИЦЫ
00000cam0a2200000 ib4500
001 BY-NLB-br659798
005 20130430183316.5
010 # # $b В переплете  $d 2 р. 70 к. 
100 # # $a 20041122d1980 k y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a a g 001yy 
109 # # $a aa  $a pa  $a ha 
200 1 # $a Таблицы параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей  $e (теория, метод расчета, таблицы)  $f [А. Ф. Буренков и др.] 
210 # # $a Минск  $c Издательство БГУ  $d 1980 
215 # # $a 347, [3] с.  $c ил., табл.  $d 17 см 
320 # # $a Библиография: с. 345―348 (42 назв.) 
320 # # $a Указатель материалов в конце книги 
345 # # $9 1000 экз. 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12158  $a ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2459445  $a ПРОСТРАНСТВЕННЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25538  $a ПРИМЕСИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar37867  $a ЧИСЛЕННЫЕ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2814674  $a ДЛИНА СВОБОДНОГО ПРОБЕГА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2814692  $a ПРОБЕГ ЧАСТИЦЫ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 537.534:519.6(083.5)  $v 4  $z rus 
675 # # $a 621.793(083.5)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 29.19.21  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 29.19.03  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 29.19.17  $2 rugasnti  $v 5 
686 # # $a 29.35.37  $2 rugasnti  $v 5 
701 # 1 $3 BY-SEK-186601  $a Буренков  $b А. Ф.  $g Александр Федорович  $c доктор физико-математических наук 
701 # 1 $3 BY-SEK-186602  $a Комаров  $b Ф. Ф.  $g Фадей Фадеевич  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1945 
701 # 1 $3 BY-SEK-186603  $a Кумахов  $b М. А.  $g Мурадин Абубекирович  $c доктор физико-математических наук  $f 1941—2014 
701 # 1 $3 BY-SEK-186604  $a Темкин  $b М. М.  $g Михаил Матвеевич  $c кандидат физико-математических наук 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20041122  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 

Схожие документы