Таблицы параметров пространственного распределения ионно-имплантированных примесей: (теория, метод расчета, таблицы) / [А. Ф. Буренков и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Минск : Издательство БГУ , 1980 |
| Физические характеристики: |
347, [3] с. : ил., табл. ; 17 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 4 , доступно: 4 | Доступно Заказать | |||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||||||||||||