|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br552585 |
| 005 |
20070615191139.6 |
| 100 |
# |
# |
$a 20031013d2003 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Оптимизация условий выращивания и использование "третьего" комнонента в процессах получения совершенных монокристаллов кремния методом Чохральского для СБИС
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.27.06
$f Епимахов Игорь Дмитриевич
$g [Моск. гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т)]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 2003
|
| 215 |
# |
# |
$a 22 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 21-22 (12 назв.).
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 61.69.37
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 53.41.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-480628
$a Епимахов
$b И. Д.
$g Игорь Дмитриевич
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20031013
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
