Оптимизация условий выращивания и использование "третьего" комнонента в процессах получения совершенных монокристаллов кремния методом Чохральского для СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Епимахов Игорь Дмитриевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Епимахов, И. Д. |
| Опубликовано: | М. , 2003 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||