Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.01 ; 05.27.06 / Жуков Андрей Александрович
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Жуков, А. А. |
| 出版: | М. , 2003 |
| 實物描述: |
52 с.
|
| 語言: | 俄文 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||