Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.01 ; 05.27.06 / Жуков Андрей Александрович
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Жуков, А. А. |
| Veröffentlicht: | М. , 2003 |
| Beschreibung: |
52 с.
|
| Sprache: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||