Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.01 ; 05.27.06 / Жуков Андрей Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад94375,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Жуков, А. А.
Опубликовано: М. , 2003
Физические характеристики: 52 с.
Язык: Русский
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br495024
005 20070615192254.0
100 # # $a 20030715d2003 u y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a m 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук  $e 05.27.01 ; 05.27.06  $f Жуков Андрей Александрович  $g [Рос. гос. технол. ун-т им. К.Э.Циолковского, ОАО "ЦНИИ "Циклон"] 
210 # # $a М.  $d 2003 
215 # # $a 52 с. 
300 # # $a Библиогр.: с. 48-52 (46 назв.). 
686 # # $a 47.09.51  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-506097  $a Жуков  $b А. А.  $g Андрей Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20030715  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo