Ионно-плазменный синтез силицидов меди на монокристаллическом кремнии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук: специальность 02.00.01 Неорганическая химия / Туренко Евгений Алексеевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Туренко, Е. А. |
| Опубликовано: | Воронеж , 2002 |
| Физические характеристики: |
22 с. : ил., табл.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |