|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br438474 |
| 005 |
20241219104828.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20021030d2002 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Создание научных основ разработки электротехнологического высокочастотного плазменного оборудования для обработки изделий электронного приборостроения
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e специальность 05.09.10 Электротехнология
$f Хрусталев Владимир Александрович
$g [Новосибирский государственный технический университет]
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$d 2002
|
| 215 |
# |
# |
$a 32 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 29―32 (52 назв.)
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39276
$a ЭЛЕКТРОТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ УСТАНОВКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3356319
$a ВАКУУМНЫЕ УСТАНОВКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23651
$a ПЛАЗМЕННЫЕ УСТАНОВКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3298635
$a ПЛАЗМА НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33810
$a ТЕХНИЧЕСКИЕ ТРЕБОВАНИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3332998
$a НАУЧНЫЕ ОСНОВЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar39182
$a ЭЛЕКТРОННОЕ ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 45.03
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 45.53
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.09.10
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-550644
$a Хрусталев
$b В. А.
$g Владимир Александрович
$c доктор технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20021030
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
