Создание научных основ разработки электротехнологического высокочастотного плазменного оборудования для обработки изделий электронного приборостроения: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.09.10 Электротехнология / Хрусталев Владимир Александрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Хрусталев, В. А. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 2002 |
| Физические характеристики: |
32 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||