Разработка технологии получения и очистки гидридных газов непосредственно в технологических процессах полупроводниковой микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.17.02 / Лобачев Юрий Анатольевич
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Лобачев, Ю. А. |
| Апублікавана: | М. , 2002 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
19 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||