|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br433892 |
| 005 |
20070615192110.2 |
| 100 |
# |
# |
$a 20021010d2002 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.09.10; 05.27.01
$f Терентьев Сергей Александрович
$g [Сарат. отд-ние Ин-та радиотехники и электроники РАН]
|
| 210 |
# |
# |
$a Саратов
$d 2002
|
| 215 |
# |
# |
$a 16 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 15-16 (18 назв.).
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 81.29.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.09.10
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-557200
$a Терентьев
$b С. А.
$g Сергей Александрович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20021010
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
