Разработка низкоэнергетического СВЧ вакуумно-плазменного травления структур микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.09.10; 05.27.01 / Терентьев Сергей Александрович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Терентьев, С. А. |
| Опубликовано: | Саратов , 2002 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||