|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br406023 |
| 005 |
20230411153929.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20020515d2002 k y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук
$e 05.27.01
$f Путря Михаил Георгиевич
$g [Моск. гос. ин-т электрон. техники]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 2002
|
| 215 |
# |
# |
$a 53 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 43-53 (63 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4079316
$a ТРЕХМЕРНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2120089
$a УЛЬТРАБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23657
$a ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar7358508
$a ЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-520507
$a Путря
$b М. Г.
$g Михаил Георгиевич
$c доктор технических наук
$f род. 1955
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20020515
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
