Физико-технологические основы формирования трехмерных микроструктур УБИС плазменными методами: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.01 / Путря Михаил Георгиевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Путря, М. Г. (род. 1955) |
| Опубликовано: | М. , 2002 |
| Физические характеристики: |
53 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||