|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br390198 |
| 005 |
20230613081300.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20020312d2001 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Математические модели управления процессами в тонких аэродинамических слоях при производстве изделий микроэлектроники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук
$e специальности 05.13.18 Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ, 05.13.01 Системный анализ, управление и обработка информации (пищевая и химическая промышленность)
$f Абрамов Геннадий Владимирович
$g [Воронежская государственная технологическая академия]
|
| 210 |
# |
# |
$a Воронеж
$d 2001
|
| 215 |
# |
# |
$a 32 с.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 29―32 (40 назв.)
|
| 333 |
# |
# |
$a Для служебного пользования
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24592
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar85256
$a ФОТОЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34171
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar17280
$a МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3295
$a АЭРОГИДРОДИНАМИКА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.77
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 30.17.51
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 30.17.53
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.18
$2 oksvnk
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-513436
$a Абрамов
$b Г. В.
$g Геннадий Владимирович
$c доктор технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20020312
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
